TESCAN MIRA

TESCAN MIRA
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SEM analytique haute résolution pour les applications de routine de caractérisation des matériaux, de recherche et de contrôle qualité à l'échelle submicronique.

Le microscope électronique à balayage (SEM) de 4e génération de TESCAN MIRA avec source d'émission d'électrons FEG Schottky combine l'imagerie SEM et l'analyse de la composition élémentaire en direct dans une seule fenêtre du logiciel Essence™ de TESCAN. Cette combinaison simplifie considérablement l'acquisition des données morphologiques et élémentaires de l'échantillon, faisant de MIRA SEM une solution analytique efficace pour l'inspection de routine des matériaux dans les laboratoires de contrôle qualité, d'analyse des défaillances et de recherche.

- Plate-forme analytique avec TESCAN Essence™ EDS entièrement intégré, qui combine efficacement l'imagerie SEM avec l'analyse de la composition élémentaire dans une seule fenêtre du logiciel Essence™.

- Des conditions d'imagerie et d'analyse optimales immédiatement disponibles grâce à la conception optique sans ouverture unique de TESCAN alimentée par In-flight Beam Tracing™.

- Navigation SEM sans effort et précise sur l'échantillon à des grossissements aussi faibles que 2× sans avoir besoin d'une caméra de navigation optique supplémentaire grâce à la conception unique Wide Field Optics™.

- Mode SingleVac™ en tant que fonction standard pour observer la charge et les échantillons sensibles au faisceau.

- Logiciel Essence™ intuitif et modulaire conçu pour un fonctionnement sans effort, quel que soit le niveau d'expérience de l'utilisateur.

- La sécurité ultime des détecteurs montés dans la chambre lorsque la platine et l'échantillon sont en mouvement est garantie avec le modèle Essence™ 3D Collision.

- Des détecteurs SE et BSE en colonne en option sont disponibles, y compris la technologie de décélération du faisceau pour améliorer les performances d'imagerie à des tensions d'accélération plus faibles.

- Plate-forme analytique modulaire pouvant être équipée en option de la plus large sélection de détecteurs entièrement intégrés (par exemple CL, BSE refroidi à l'eau ou spectromètre RAMAN).

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