TESCAN SOLARIS X

Une plate-forme Plasma FIB-SEM pour la coupe profonde et la résolution la plus élevée de pointage final pour l'analyse des défaillances au niveau de l'emballage

- Section transversale de grande surface sans rideau pour l'analyse des défaillances physiques des technologies d'emballage avancées

- Préparez des sections transversales FIB de grande surface jusqu'à 1 mm de large

- Obtenez une image haute résolution à faible bruit à faible keV en un temps d'acquisition court à la coïncidence FIB-SEM avec l'échantillon incliné

- Surveillance SEM en direct pendant le fraisage FIB pour un pointage précis

- Observez les matériaux les plus sensibles au faisceau en utilisant une ultra-haute résolution à faible keV pour une sensibilité de surface et un contraste de matériau élevé

- Techniques et recettes efficaces pour une coupe transversale rapide et sans artéfact d'échantillons composites (écrans OLED et TFT, dispositifs MEMS, diélectriques d'isolation) à des courants élevés

- Interface utilisateur modulaire facile à utiliser Essence™